Sản phẩm có dung lượng cao PID điều chỉnh lò bán dẫn SEO

lò bán dẫn với nitơ đầy có tính phổ biến mạnh mẽ, ổn định cao và hiệu suất cao.áp dụng cấu trúc buồng đặc biệt và công nghệ niêm phong, với độ kín không khí tuyệt vời và sự đồng nhất nhiệt độ để đáp ứng các yêu cầu hiệu suất cao của các sản phẩm bán dẫn.Bao bì IC (trong cột đồng), gel bạc, silic gel, nhựa epoxy), chất nền thủy tinh và các sản phẩm khác.
 
Công nghệ chính:
01 Hệ thống không khí nóng tuần hoàn không khí ngang công suất cao để đạt được sự đồng nhất nhiệt độ hiệu suất cao
02 Phòng được thiết kế hoàn toàn kín, áp dụng tấm thép không gỉ, với độ kín không khí tốt, tiết kiệm nitơ
03 Động cơ trục dài có sức mạnh cao, chống nhiệt độ cao, và lưỡi tua-bin có kích thước lớn, có thể hoạt động ổn định trong môi trường nhiệt độ cao trong một thời gian dài
04 Tốc độ sưởi ấm có thể điều khiển, một phím hoạt động cho cài đặt hồ sơ quy trình, với hệ thống làm mát để làm mát, có thể cải thiện hiệu quả sản xuất
05 Máy điều khiển nhiệt độ chính xác cao, điều chỉnh PID, độ chính xác điều khiển có thể đạt đến 0,5 °C, điều khiển đáng tin cậy, sử dụng an toàn
06 xử lý sạch hiệu quả, thử nghiệm lão hóa phòng sạch hàng ngàn độ, để đáp ứng các yêu cầu của các xưởng bán dẫn và các sản phẩm không bụi
07 Kiểm soát hàm lượng oxy thấp, giám sát thời gian thực, hệ thống phân tích kênh kép hàm lượng oxy có thể được kiểm soát trong phạm vi 50PPM
 
Tính năng sản phẩm:
Cấu trúc phòng lò bán dẫn
Các hộp phía trên và phía dưới được trang bị hệ thống lưu thông không khí nóng, tốc độ và khối lượng không khí có thể được điều chỉnh và các thông số quy trình khác nhau có thể được vận hành độc lập.Phòng lò được làm bằng thép không gỉ chất lượng cao. lò được trang bị brackets lớp để cải thiện việc sử dụng không gian.

Hệ thống nitơ lò bán dẫn
Việc lấp đầy nitơ bên trong buồng, được trang bị máy đo lưu lượng nhiều lần, với chức năng điều chỉnh độc lập, để đảm bảo sử dụng nitơ hợp lý, phân phối cân bằng.Với máy phân tích oxy đa kênh, theo dõi thời gian thực giá trị hàm lượng oxy trong buồng trên và dưới, có thể được điều khiển riêng biệt, hàm lượng oxy của một buồng có thể được điều khiển trong phạm vi 500PPM (tùy chọn:trong phạm vi 100PPM).
 

Hệ thống làm mát lò bán dẫn
Hệ thống làm mát bằng nước được áp dụng.nó làm giảm đáng kể thời gian làm mát. Hệ thống làm mát độc đáo, tránh mở rộng hơi nước làm mát ngay lập tức ở nhiệt độ cao, có hiệu quả bảo vệ chất lượng sản phẩm.

Hệ thống bảo vệ an toàn lò bán dẫn
Với bảo vệ nhiệt độ quá cao (để ngăn chặn nhiệt độ phòng thu quá cao và bảo vệ sản phẩm), khi tình huống nhiệt độ quá cao xảy ra, nó sẽ ngay lập tức cắt điện,cùng một lúc, có báo động để nhắc nhở nhân viên, bảo vệ tốt hơn cho các sản phẩm; kiểm soát và bảo vệ hàm lượng oxy quá mức; bảo vệ báo động áp suất thấp nitơ;Các hộp trên và dưới được trang bị khóa an toàn điện tử, và các thiết bị có công tắc dừng khẩn cấp.

Thử nghiệm độ rõ của lò bán dẫn
Sau khi thử nghiệm, nồng độ hạt 0,5μm là ≤35200, đáp ứng các yêu cầu sản xuất của xưởng làm việc sạch không bụi lớp ngàn độ sạch cao.

Kiểm tra hồ sơ nhiệt độ lò bán dẫn
Bộ điều khiển nhiệt độ chính xác cao, điều chỉnh PID, hệ thống không khí nóng tuần hoàn không khí ngang công suất cao, có thể đạt được tính đồng nhất nhiệt độ hiệu suất cao.

 
Các thông số sản phẩm:

 
Thông báo:
1Các yêu cầu về nguồn khí: Áp suất hoạt động nitơ (áp suất trong khi sử dụng) > 0,5-0,8Mpa, độ tinh khiết nitơ 99,999%.
2Nhu cầu điện:
1Ba pha năm dây: điện áp 380V, tần số 50/60HZ;
2Đường kính dây trên 25mm2, công tắc bảo vệ rò rỉ 100A, công tắc bảo vệ rò rỉ Capacity 150-200mA.
3. Yêu cầu áp suất mặt đất: 1000kg/m2.
4. Yêu cầu thông gió bên ngoài: ống dẫn không khí đường kính bên ngoài 2-Ø38mm, khối lượng thông gió 2*5M3/min;
5Các yêu cầu về môi trường: Phạm vi nhiệt độ môi trường xung quanh nên nằm trong khoảng 5-40 °C và độ ẩm tương đối trong khoảng 20-95%.